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CZ晶体生长炉

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CZ晶体生长炉

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技术参数

产品简介:

直拉法晶体生长炉,可针对于高纯度活泼材料的晶体生长实验探索,也可以适用于晶体材料的生产;此款晶体生长炉可以提拉各种氧化物单晶和金属单晶,如蓝宝石、 GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等,最高温度可达 2100℃ (石墨坩埚)。此系统采用组成:高频感应加热电源,高真空腔体,石墨坩埚、或者氮化硼坩埚、精密提拉机构和坩埚旋转机构。

 

二、主要技术参数

 

作电源

AC 380V,三相,20KW

感应射频

30-80KHz

最高熔炼温

1650℃

 

 

真空系统(选配)

配置一:10-2torr (机械泵)

1.型号:VRD-24

2.抽气口接口尺寸:KF25

3.抽气速率:(24m3/h) 6.6L/S

4.电机功率:750W

5.极限压强 4×10-2Pa

配置二:10-5torr  (机械泵+分子泵)

1.抽气速率:620L/s

2.极限压强:6×10-5Pa

3.启动时间:≤8min

4.额定转速:27000rpm/min

5.冷却方式:水冷

6.抽气口接口尺寸:LF160

 

 

 

 

 

空腔室

 

 

1.采用 SS304 不锈钢腔体双层水冷腔体,确保设备工作室表面温度 70℃,

2.体尺寸:  φ400*400mm卧式结构

3.腔门上有一个50*150mm 的方形观察窗口,方便晶体生长过程中实 时观察样品的熔化和生长情况

4.腔体上部安装了一个量程为-0.1-0.15MPa 的机械压力表用于室内压力情况

5.一个 φ6 双卡套接头做为出气口,并通过一个不锈钢针阀控制气的通断

6.电磁阀可自动控制进气

7.安装了一个安全压阀,当腔室中压力大于一定值时将自动泄压, 保腔体的安全

 

提拉机构

1.提拉采用伺服电机驱动旋转采用直流电机驱动

2.提拉速度:0.01-30mm/h

3.晶杆旋转速度:0.1-60 rpm

4.最大提拉行程:200mm

5.位移精度:0.01mm

6.提拉分为快速和慢速

坩埚旋转机构

1.直流电机驱动

2.旋转速度:1-30 rpm

 

控制系统

1.整个电路控制系统在触摸屏上面实现操作控制,采用控制软件进行控制,可以实现以下功能:

2.生长斜率及控制参数设定;

3.控制晶升,动态可调

4.控制晶转,可设定多段速自动执行

5.腔体真空压力检测

6.报警监测,晶升晶转中频气压等上限报警

7.实时数据曲线

8.数据记录, 自动存储运行数据

 

水冷系统(选配)

1.工作电流:2.1-12.9A

2.制冷量:49474Btu/h

3.最大流量:117L/min

4.水箱容量:75L

坩埚系统(选配)

1.可选石墨坩埚或者氮化硼坩埚和相应的保温材料组件

此单晶炉的坩埚尺寸分为D50*H50mm和D80*H80mm

变压器(选配)

可根据客户所在地的电压选配变压器,如480V变380V,415V变380V等

产品尺寸(参考)

1.设备主机:~1480mm(L)  x 1150mm(W) x 2450mm(H)

2.冷水机:~800mm(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

3.变压器:~1050(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

关键词:
晶体生长炉
蓝宝石
GGG
YAG
LaAlO3
2100℃晶体生长炉
直拉法晶体生长炉
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